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高精純石墨盤和慣例石墨盤在純度、功能、應用領域和制備工藝等方面存在顯著差異,詳細如下:
純度
    高精純石墨盤:碳含量一般超越99.9%,甚至更高,對雜質含量要求極為嚴厲,一般要求雜質含量在0.01%以下。高純度使得其在一些對資料純凈度要求極高的領域能夠發(fā)揮關鍵作用。
    慣例石墨盤:碳含量一般在94%至99%之間,雜質含量相對較高。
功能
高精純石墨盤:
    化學穩(wěn)定性:極高,幾乎不與任何化學物質產生反應,在化工行業(yè)中,特別是需求抗腐蝕、耐高溫的環(huán)境下表現(xiàn)出色。
    電導率:電阻率極低,僅為慣例石墨盤的一小部分,在電子和電氣行業(yè)中具有共同優(yōu)勢,常用于制作電極和電接觸資料,能下降能耗,提高設備效率。
    熱導率:是慣例石墨盤的兩倍以上,在需求快速熱傳導的應用中至關重要,如在半導體制作中,能迅速均勻地傳遞熱量,削減溫度梯度,確保晶圓的均勻加熱。
    機械強度和耐性:在高溫下表現(xiàn)出更好的功能,結構穩(wěn)定性更好,例如在冶金行業(yè)中,可用于制作坩堝和模具,在極點溫度下保持形狀而不變形或破裂。
    外表硬度:較高,耐磨功能優(yōu)異,在機械加工中,常被用作潤滑劑或涂層,能削減沖突,延伸設備的使用壽命,甚至在某些高精度機械加工中可代替?zhèn)鹘y(tǒng)金屬資料,削減磨損和提高加工精度。
    慣例石墨盤:化學穩(wěn)定性、電導率、熱導率、機械強度和耐性等方面相對較弱,難以滿意一些對資料功能要求極高的應用場景。
應用領域
高精純石墨盤:
    半導體制作:用于晶圓加熱、熱管理和等離子體刻蝕設備等。
    新能源:作為鋰離子電池的負極資料,推動電動車和可再生能源的發(fā)展。
    核工業(yè):由于其優(yōu)異的中子吸收能力和高溫穩(wěn)定性,用于制作核反應堆的控制棒和屏蔽資料。
    化工:抗腐蝕性使其成為化工設備的抱負資料。
    機械加工:作為高精度加工的潤滑劑和模具資料。
    慣例石墨盤:首要應用于一些對資料功能要求不高的領域,如一般性的耐火資料制作、一般機械加工的輔助工具等。
制備工藝
    高精純石墨盤:制備過程更為雜亂和嚴厲,需求選用灰分極低的質料,多數(shù)采用模壓或等靜壓成型,石墨化溫度高,并在石墨化過程中通入鹵族元素氣體以下降雜質含量,某些高精純石墨器件還會在外表涂厚度為10-20um的熱解石墨以提高抗氧化性。
    慣例石墨盤:制備工藝相對簡略,對質料和工藝參數(shù)的要求沒有那么嚴苛。

 高精純石墨盤

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